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高純氧用于二氧化硅的化學氣相沉積;作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應劑;干法氧化;與四氟化碳混合,用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質;在冶金工業(yè)中有廣泛應用。還可用于水質處理。所有的氧化反應和燃燒過程都需要氧,例如煉鋼時除硫、