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對(duì)于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，例如對(duì)于氮，氫，氬，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對(duì)于氧氣，純度為99.999%即可稱高純氧；對(duì)于碳?xì)浠衔?，純度?9.999%的即可認(rèn)為是高純氣體。高
